日本 OptoSigma VPDM-13ACTR 真空对应压电驱动马达 从执行器引出导线
2024-09-06 16:08:06
admin
附带螺母及紧固件动作时，请使用压电驱动器专用控制器（PDM-ID-02）。从执行器引出导线，连接到腔室的端子或将导线引出到外部使用。压电驱动器驱动器附带用于与该导线连接的控制器专用连接电缆（1m）。
为了提高执行器主体的追随性，请设定适当的负荷（3N以上推荐）。由于本产品通过使用压电元件的惯性驱动，所以定位等没有精度。另外，根据个体差异、致动器的进给方向，速度、最小移动量会产生偏差。请事先谅解。
